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为什么基板放置时要从上往下放?
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2019年5月31日 下午8:37
当基板在放入周转架时,基板边缘会与周转架边缘发生摩擦,以及基板上的毛屑及异物落到下边产品上,从上往下放置可避免粉尘、异物落到基板上,防止产品沾脏而引发产品不良。
周转架
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